HORIBA 質(zhì)量流量計：高精度氣體流量控制器

在半導(dǎo)體、光伏、LED、化學(xué)氣相沉積（CVD）、等離子蝕刻（Etching）等制造行業(yè)中，對氣體流量控制精度的要求極為嚴苛。作為優(yōu)秀的分析儀器與工藝控制解決方案提供商，日本 HORIBA 憑借其在質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，推出了包括 SEC、S、Z 等多個系列的熱式質(zhì)量流量計產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于前沿制造工藝與實驗室環(huán)境。

什么是質(zhì)量流量計（MFC）？

質(zhì)量流量計是一種用于精確測量并控制氣體流量的儀器，單位通常為 SCCM（標準立方厘米每分鐘）或 SLM（標準升每分鐘）。與體積流量計不同，MFC 能直接測量氣體的質(zhì)量流量，受溫度與壓力變化的影響較小。

HORIBA 的質(zhì)量流量計采用 熱式質(zhì)量流量測量原理，通過內(nèi)部熱傳感器檢測氣體通過流量通道時的熱量變化，從而實現(xiàn)高精度流量計算與閉環(huán)控制。

HORIBA MFC 系列產(chǎn)品概覽

SEC-N 系列

• 代表型號：SEC-N112MGM, SEC-N112MGR

• 特點：多氣體/多量程（MGMR），可快速切換氣體種類和滿量程，無需拆裝。

• 接口類型：模擬（MGM）或 RS485 數(shù)字（MGR）

• 應(yīng)用：主流半導(dǎo)體設(shè)備廠商廣泛采用

SEC-Z 系列

• 代表型號：SEC-Z512MGX

• 特點：支持 EtherCAT / DeviceNet 等高級總線協(xié)議，全金屬密封設(shè)計，適用于腐蝕性氣體

• 精度更高，溫漂更低

• 適用于先進制程（EUV 光刻、三維存儲器制造）

S48 系列

• 代表型號：S48-32/HMT

• 特點：經(jīng)典款熱式 MFC，模擬通信為主，性價比高，適合標準潔凈室工藝

• 支持多種氣體，量程選擇靈活

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造：Etching、CVD、ALD、PVD 等腔體氣體控制

• 顯示面板：OLED/LCD 制造的惰性氣體及反應(yīng)氣體輸送

• 光伏行業(yè)：薄膜沉積過程中的氣體流量管理

• 醫(yī)療/實驗室：高精度混合氣體控制系統(tǒng)

• 化工與環(huán)保監(jiān)測：用于過程控制、污染氣體排放測試系統(tǒng)

為什么選擇 HORIBA MFC？

• 日本制造，品質(zhì)保障

• 全球半導(dǎo)體廠商廣泛驗證與使用

• 擁有完善的售后服務(wù)與技術(shù)支持體系

• 持續(xù)升級：從模擬到全數(shù)字通信，支持 MGMR 快速配置

• 可定制解決方案，適配各類 OEM 設(shè)備與新興工藝需求