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產(chǎn)品中心實驗室儀器及設(shè)備真空泵KASHIYAMA SDE120TX 真空泵
產(chǎn)品型號：
更新時間：2025-05-20
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：470
服務(wù)熱線
產(chǎn)品分類
| 品牌 | KASHIYAMA/日本 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 真空泵 | 產(chǎn)品類型 | 無油泵 |
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品/農(nóng)產(chǎn)品,能源,制藥/生物制藥,綜合 |
KASHIYAMA SDE120TX 真空泵是一款高性能干式真空泵，專為半導(dǎo)體、光電顯示、化學(xué)氣相沉積（CVD）、蝕刻（Etch）和其他工藝環(huán)境設(shè)計。該機型隸屬于日本樫山工業(yè)（Kashiyama Industries, Ltd.）SDE-TX 系列，采用先進(jìn)的垂直螺桿結(jié)構(gòu)，具有出色的耐腐蝕性能和穩(wěn)定性，是現(xiàn)代真空系統(tǒng)的理想選擇。
最大抽速：1500 L/min
極限壓力：1.3 Pa（不加氮氣時）
輸入電壓：三相 AC200–220V，50/60Hz
功耗：約 2.8 kW
外形尺寸：約 930 mm × 400 mm × 500 mm
整機重量：約 151 kg
大抽速性能：最大抽速可達(dá) 1,500 L/min，滿足苛刻工藝對真空效率的高要求。
低極限壓力：極限真空度低至 1.3 Pa，在未使用氮氣吹掃時亦可維持高性能穩(wěn)定運行。
干式運行設(shè)計：無油結(jié)構(gòu)避免了污染風(fēng)險，特別適合潔凈室環(huán)境和高純度工藝。
高可靠性結(jié)構(gòu)：垂直安裝的雙螺桿結(jié)構(gòu)可有效防止顆粒堆積，延長泵體壽命。
適應(yīng)惡劣氣氛：配備高耐腐蝕材料與溫控系統(tǒng)，適用于處理腐蝕性和反應(yīng)性氣體。
半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備（Etch）
化學(xué)氣相沉積（CVD、PE-CVD、LP-CVD、SA-CVD）
原子層沉積（ALD）
OLED 與液晶面板制造
精密薄膜沉積與剝離工藝
實驗室與潔凈室真空系統(tǒng)
前級加熱排氣配管系統(tǒng)：防止冷凝和積碳，增強系統(tǒng)穩(wěn)定性。
多級溫控系統(tǒng)：根據(jù)不同應(yīng)用調(diào)節(jié)泵體溫度，提高兼容性。
除害裝置聯(lián)動接口：支持等離子、燃燒、冷凝等除害方式接入，提升環(huán)保性能。
遠(yuǎn)程監(jiān)控與報警系統(tǒng)：實時掌握泵體運行狀態(tài)，便于系統(tǒng)集成與自動化管理。
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